當(dāng)前，MEMS傳感器已經(jīng)應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域之中，其中技術(shù)迭代最快、應(yīng)用規(guī)模最大的要數(shù)運(yùn)動(dòng)傳感器和壓力傳感器。MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器是目前應(yīng)用最為廣泛的MEMS傳感器，包含了陀螺儀、加速度計(jì)和慣性測量單元等，目前已經(jīng)在智能手機(jī)、可穿戴智能設(shè)備以及平板電腦等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了大規(guī)模應(yīng)用。